Buhar sterilizatörleri, sterilize etmek için yüksek-basınçlı buhar kullanır. Temel prensip, mikroorganizmaların protein yapısını yok etmek için buharın nüfuz etme gücünden ve yüksek sıcaklığından (tipik olarak 121 ila 134 derece) faydalanarak bakterileri, virüsleri, mantarları ve sporları öldürmektir. Spesifik süreç aşağıdaki gibidir:
Buhar Üretimi: Bir buhar jeneratörü, suyu yüksek bir sıcaklığa ısıtarak yüksek-basınçlı buhar üretir.
Kapalı Sterilizasyon: Yüksek-basınçlı buhar, kapalı bir buhar odasına enjekte edilerek öğeleri tamamen kaplar.
Soğuk Havanın Tahliyesi: Buharın eşyalara tamamen nüfuz etmesini sağlamak için hava, bir egzoz valfi veya vakum pompası aracılığıyla buhar odasından çıkarılır.
Sabit Sıcaklık ve Basınç Sterilizasyonu: Etkili sterilizasyonu sağlamak için belirli bir sıcaklık ve basınç (121 derece ve 103 kPa gibi) belirli bir süre (tipik olarak 20 ila 30 dakika) korunur.
Egzoz ve Kurutma: Sterilizasyon tamamlandıktan sonra buhar, egzoz valfinden dışarı çıkarılır. Bazı modellerde eşyaların hızla kurutulması için bir kurutma fonksiyonu bulunur.




